对毒性或危险性气体，在与之作用的过程中必须严格遵守相关的标准和规定，对其设计和施工也必须符合一定的标准和规范，最基本的要求如下:

(1)根据气体的特性，分区存放;

(2)输送过程中抽气管道需具有耐腐蚀性，传送管道需具有一定的耐压、耐腐蚀性;

(3)各种气体储存室和工作室以及气瓶柜都应该安装相应的监测器件监测气体浓度或压力;

(4)各个仪器具有报警功能，且有较高的灵敏度;

(5)位于防爆区的监测器件需具有防爆功能;

(6)为了实现系统的集成，各个监测器件需具有开放式接口等等。

在某晶片厂中，由于工艺的需要，要用有毒或危险性气体，为了对气体系统进行统一的监控，防止发生意外事故。需要监测的项目有晶片制造过程中使用的危险性气体、有机溶剂是否存在泄漏，以及工作环境中氧气的浓度，以及气瓶柜的状态等等，要求监控系统在气体出现泄漏时，根据设定值来判断发生泄漏的区域，并发出警示信号或执行连锁停机操作，当险情时通过广播传达紧急疏散信息。